Silicon Carbide Trealamh Meilt: Réimse nua próiseála ábhair a dhíghlasáil

I réimsí ardleibhéil ar nós leathsheoltóirí, aeraspáis, agus déantúsaíocht bheachtais, tá cairbíd sileacain (SIC) ina phríomhábhar nach féidir a athsholáthar mar gheall ar a chruas ard, a fhriotaíocht ardteochta, agus a fhriotaíocht creimthe. Mar sin féin, tá sé thar a bheith deacair cairbíd sileacain a phróiseáil, agus tá sé deacair trealamh traidisiúnta a chuid riachtanas próisis déine a chomhlíonadh. Le blianta beaga anuas, tá na cinn nuálacha de threalamh meilte silicon carbide ag soláthar réitigh ar an bhfadhb seo agus ag cur próiseáil ábhair chun cinn i gcéim nua.

Croíteicneolaíocht na Trealamh meilte cairbíde sileacain Is é atá i gceist ná próiseáil éifeachtach "deacair a chrua" a bhaint amach. Is minic a bhíonn fadhbanna ag baint le modhanna traidisiúnta, mar shampla caitheamh uirlisí tapa agus droch -cháilíocht dromchla, agus tá feabhas suntasach tagtha ar éifeachtúlacht agus ar chruinneas próiseála an ghlúin nua trí shlabhra an phróisis a bharrfheabhsú.

I réimse na meaisíní liteagrafaíochta, tá próiseáil comhpháirteanna ceirmeacha cairbíde sileacain thar a bheith criticiúil. Ag glacadh leis an gcéim oibre mar shampla, ní mór dó tairiscint ultra-réamh-leibhéal sé chéim-shaoirse a bhaint amach, agus is é 10nm an riachtanas cruinnis suímh. Tá sé deacair dioscaí meilte miotail nó cruach charbóin thraidisiúnta a chomhlíonadh le riachtanais próiseála ardluais agus ardchruinnithe mar gheall ar a gcomhéifeachtaí móra leathnaithe teirmeacha agus a gcaitheamh tapa. Is féidir le dioscaí meilte ceirmeacha silicon ceirmeacha cothromaíocht an-ard a choinneáil le linn meilt ardluais mar gheall ar a gcomhéifeacht leathnaithe teirmeach íseal agus cruas ard, ag cinntiú caighdeán na próiseála sliseog. Deimhníonn an cás iarratais seo nádúr neamh-inathraithe trealamh meilte cairbíde sileacain i ndéantúsaíocht ardleibhéil.

Tá an trealamh meilte cairbíde sileacain á thiomáint ó chur i bhfeidhm go tionsclaíoch. Sa réimse leathsheoltóra, tá borradh tagtha ar an éileamh próiseála ar daingneáin cheirmeacha sileacain, ar ráillí treorach, ar fhrithchaiteoirí agus ar chomhpháirteanna eile.

Sa réimse aeraspáis, úsáidtear criadóireacht cairbíde sileacain go forleathan i gcomhpháirteanna teirmeacha innill, in iompróirí catalaíocha, etc. Mar gheall ar a bhfriotaíocht ardteochta agus a bhfriotaíocht creimthe. Tá feabhas mór tagtha ar dhul chun cinn an trealaimh mheilt ar éifeachtúlacht phróiseála na gcomhpháirteanna casta seo agus na costais laghdaithe go mór. I réimsí ardteicneolaíochta amhail fuinneamh núicléach agus cosaint náisiúnta, tá poitéinseal mór léirithe ag trealamh meilte silicon carbide, ag soláthar tacaíochta teicniúla do logánú príomhthrealamh.

Ní hamháin go réitíonn an dul chun cinn nuálaíoch atá ag trealamh meilte cairbíde silicon an fhadhb “scrogaill” a bhaineann le próiseáil ábhair, ach cuireann sé tacaíocht lárnach ar fáil freisin do dhéantúsaíocht ardleibhéil. Ó shaotharlann go tionsclaíocht, ó leathsheoltóirí go aeraspáis, tá dul chun cinn teicneolaíochta sa réimse seo ag athrú go mór an tírdhreach tionsclaíoch domhanda. Sa todhchaí, le scaoileadh leanúnach an éilimh agus an t-atriall leanúnach teicneolaíochta, is cinnte go mbeidh trealamh meilte cairbíd sileacain mar chroífhórsa chun uasghrádú na déantúsaíochta ardleibhéil a chur chun cinn.